WTS·FPTS·ATS 반도체 검사장비 개발
펌웨어C/C++C#VerilogOrCAD검사 자동화영상 처리
WTS, FPTS, ATS 반도체 검사장비 개발 프로젝트입니다. 웨이퍼의 전기적 특성 검사, 불량 원인 분석 및 검사 자동화를 대상으로 센서 신호 처리와 영상 분석, 제어 기능을 다뤘습니다.
개발 범위
- WTS의 웨이퍼 전기적 특성 검사 및 불량 검출 기능
- FPTS의 샘플링 및 영상 기반 불량 분석 기능
- ATS의 웨이퍼 자동 검사 및 장비 자동화 기능
- C/C++·C# 기반 펌웨어와 소프트웨어, Verilog 및 OrCAD를 활용한 개발
주요 구현 내용
- WTS: 센서 데이터 처리와 디지털 신호 처리, 컴퓨터 비전 및 딥러닝 기반 검사 기능 개발
- FPTS: 샘플링 처리와 3차원 영상 분석을 활용한 불량 원인 분석 기능 개발
- ATS: 검사 데이터 처리와 자동 검사 제어 기능 개발
장비별 목적에 따라 센서, 신호 처리, 영상 분석 및 자동화 기능을 구성했습니다.
프로젝트 화면
